Elektronenstrahllithografie

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · 91052 Erlangen

Auftraggeber: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Ort: 91052 Erlangen
Veröffentlicht: 22.10.2026
Angebotsfrist: 23.11.2026
Hauptgegenstand: 38511100 — Mess- & Prüftechnik
Weiterer CPV: 31712100 — Elektrische Ausrüstung

Aus der Bekanntmachung

Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).

Bekanntmachung an der Quelle öffnen →

Diese Seite gibt die Bekanntmachung wieder, nicht die Vergabeunterlagen. Für eine Angebotsabgabe zählt allein das Original auf der Vergabeplattform; dorthin führt der Verweis oben. Angaben können sich nach der Veröffentlichung geändert haben.