Nanoprobing Plattform

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., IKTS · 91301 Forchheim

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., IKTS
Ort: 91301 Forchheim
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Veröffentlicht: 31.10.2026
Angebotsfrist: 01.12.2026

Aus der Bekanntmachung

Beschaffung einer integrierten Nanoprobing-Plattform (4-Bot) mit Advanced Electrical Failure Analysis (EFA) und Vacuum Transfer Module (VTM) für hochsensitive, ortsaufgelöste elektrische Untersuchungen an unterschiedlichen Materialien für Mikroelektronik und Energieanwendungen in einem kombinierten SEM/FIB-System. Nanoprobing Plattform

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